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2，拓荆科技[SH688072] 国家集成电路产业投资基金股份有限公司国投(上海)创业投资管理有限公司－国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) 中微半导体设备(上海)股份有限公司招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金香港中央结算有限公司[2] 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金共青城芯鑫和投资合伙企业(有限合伙)

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